蔡司三坐标测量仪的精度取决于其型号和配置。根据不同的型号，蔡司三坐标测量仪的精度有所不同。例如，蔡司超高精度三坐标XENOS的精度可以达到0.3μm。

另外，像蔡司三坐标SPECTRUM的精度为1.9μm起，

而蔡司车间型三坐标ZEISS DuraMax也是1.9μm起。

此外，蔡司三坐标升级款ZEISS Contura的精度为1.5μm起，

而ZEISS Prismo则具有0.5μm、0.7μm和0.9μm三种精度。

这些精度数据只是大致的参考，实际的精度可能还受到测量机的状态、校准情况、操作人员的技能以及测量环境等多种因素的影响。

因此，在使用蔡司三坐标测量仪时，应定期进行校准和维护，确保测量结果的准确性和可靠性。

总的来说，蔡司三坐标测量仪具有高精度测量能力，能够满足各种工业测量需求。

具体的精度数值应根据实际使用的型号和配置来确定，并遵循操作规范以保证测量结果的准确性。